在航空航天、真空鍍膜、氣象監(jiān)測(cè)、高海拔環(huán)境模擬及精密工業(yè)過程控制中，壓力測(cè)量不僅關(guān)乎表壓（相對(duì)于大氣壓），更需精準(zhǔn)捕捉絕對(duì)壓強(qiáng)。
在單晶硅膜片上通過半導(dǎo)體工藝擴(kuò)散出惠斯通電橋，壓力導(dǎo)致膜片變形，電阻變化，輸出mV級(jí)信號(hào)；精度高（±0.05%FS）、響應(yīng)快、溫漂?。?/div>
陶瓷電容式：
陶瓷膜片與固定電極構(gòu)成電容，壓力改變間距，電容值變化；耐腐蝕、抗過載、壽命長(zhǎng)，適用于惡劣工況；
關(guān)鍵特征：
背腔抽真空并密封，形成真正的“零壓力”參考基準(zhǔn)，區(qū)別于表壓傳感器的大氣參考腔。
2、真空參考腔
功能：
為傳感元件提供穩(wěn)定的絕對(duì)零壓參考環(huán)境；
特點(diǎn)：
內(nèi)部抽成高真空（<1×10Pa），并通過激光焊接或玻璃熔封密封；
材料熱膨脹系數(shù)匹配，確保溫度變化時(shí)參考?jí)毫愣ǎ?/div>
是絕對(duì)壓力測(cè)量準(zhǔn)確性的根本保障。
3、測(cè)量膜片與過程連接
功能：
直接接觸被測(cè)介質(zhì)，傳遞壓力至傳感元件；
材質(zhì)與設(shè)計(jì)：
不銹鋼316L/哈氏合金/鉭：
根據(jù)介質(zhì)腐蝕性選材，耐高溫高壓；
平膜片或凸膜片設(shè)計(jì)：
平膜片適用于粘稠、易結(jié)晶介質(zhì)，減少殘留；
過程接口：
G"、M20×1.5、1/4"NPT等標(biāo)準(zhǔn)螺紋，或法蘭連接，確保密封可靠。
4、信號(hào)調(diào)理電路
功能：
將傳感元件的原始信號(hào)（mV）放大、線性化、溫度補(bǔ)償，并轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)輸出信號(hào)；
組成與特點(diǎn)：
前置放大器：
放大微弱信號(hào)，抑制噪聲；
溫度傳感器：
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)芯片溫度，用于補(bǔ)償溫漂；
微處理器：
執(zhí)行數(shù)字濾波、非線性校正、量程設(shè)定；
輸出驅(qū)動(dòng)：
生成4-20mA、0-5V、HART、RS-485等工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。
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